在半導體材料與器件研究的精密世界里，少子壽命測試儀探尋著半導體內部少數載流子壽命的奧秘，為優化材料性能、提升器件品質提供關鍵線索。
少子壽命測試儀的運行，始于對樣品的精細安置。待測半導體樣品被妥善放置在測試臺上，連接好電極，構建起穩定的電學回路，儀器核心的激發源隨即啟動，通常采用脈沖激光或電子束照射樣品。這一束光或電子，恰似吹響沖鋒號的先鋒，瞬間注入半導體內部，打破熱平衡狀態，激發產生大量電子-空穴對，其中少數載流子（電子或空穴，取決于半導體類型）成為這場探測之旅的主角。
當這些額外注入的少數載流子在半導體晶格中游走，一方面，與多數載流子復合，每次復合都伴隨著能量以光（輻射復合）或熱（俄歇復合）的形式釋放；另一方面，還會在晶體缺陷、雜質處被捕獲陷阱，仿佛陷入泥沼，行動受阻。而少子壽命測試儀通過精密的電學傳感器，實時監測樣品電學參數隨時間的變化。
具體來說，利用微波光電導衰減法時，微波持續穿透樣品，其強度變化反映少數載流子濃度衰減。隨著時間推移，少數載流子因復合不斷減少，微波反射、透射或吸收特性改變，探測器捕捉這些變化并轉化為電信號。或是采用直流光電導衰減模式，光照產生穩定少子濃度后撤去光源，測量電導率衰退曲線。這些衰減曲線蘊含著壽命長短的關鍵信息。
后續分析系統大顯身手，依據特定物理模型與公式，對采集數據深度剖析。精準算出少數載流子平均壽命數值，還能定位復合中心能級、缺陷密度等深層次參數。科研人員借此洞悉半導體材料純度、結晶質量優劣，為半導體工藝改進、新器件研發照亮前路，讓微觀電學世界的秘密在科技探索中漸次明晰。
更新時間：2025-05-06
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